Transferring apparatus in an integrated circuit manufacturing

반송 장치

Abstract

집적회로 소자의 제조시 작업물을 반송할 때 상기 작업물을 주행시키는 이송 벨트; 및 상기 이송 벨트를 구동시키거나 또는 가이드하는 풀리를 구비하는 반송 장치에 있어서, 상기 풀리는 상기 이송 벨트와 면접하는 면접부; 및 상기 이송 벨트가 상기 면접부로부터 이탈하는 것을 방지하도록 상기 면접부의 양단부 각각으로부터 돌출되는 돌출부를 구비하고, 그리고 상기 면접부를 바라보는 돌출부의 내측면은 유선형 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
The present invention relates to a transferring apparatus which is equipped with: a transfer belt for conveying a product when returning the product during a manufacturing process of an integrated circuit element; and a pulley which operates or guides the transfer belt. The pulley is equipped with: an interface portion which interfaces with the transfer belt; and a protrusion portion protruded from both ends of the interface portion in order to prevent the transfer belt from falling out from the interface portion. The inner surface of the protrusion portion, which faces the interface portion, has a streamline form.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle