듀얼 페이즈 세정 챔버 및 어셈블리

Dual phase cleaning chambers and assemblies comprising the same

Abstract

일 실시예에서, 듀얼 페이즈 세정 챔버는 난류 혼합 챔버, 유체 확산기, 등방 압력 챔버 및 파열 완화 노즐을 포함할 수도 있다. 난류 혼합 챔버는 제1 유체 유입구 및 제2 유체 유입구와 유체 연통할 수도 있다. 유체 확산기는 난류 혼합 챔버와 유체 연통할 수도 있다. 파열 완화 노즐은 제1 유체 수집 오프셋, 제2 유체 수집 오프셋 및 변위 완충 돌출부를 포함할 수도 있다. 변위 완충 돌출부는 제1 유체 수집 오프셋 및 제2 유체 수집 오프셋 사이에 배치될 수도 있고, 제1 유체 수집 오프셋 및 제2 유체 수집 오프셋 각각으로부터 멀어지게 그리고 유체 확산기를 향해 오프셋 될 수도 있다. 제1 유체 유입구, 제2 유체 유입구 또는 제1 유체 유입구 및 제2 유체 유입구로부터 도입되는 가압 세정 유체는 제1 유체 수집 오프셋 및 제2 유체 수집 오프셋의 유출구 통로를 통해 흐른다.

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