세라믹스 부재와 금속 부재의 접합체 및 그 제조 방법

Bonded body of ceramic member and metal member and method for manufacturing the same

Abstract

본 발명은, 세라믹스 부재와 금속 부재를 접합시킨 접합체의 강도를 충분히 높이는 것을 목적으로 한다. 접합체(10)는, 판형의 알루미나 또는 질화알루미늄의 세라믹스 부재(12)에 마련한 오목부(12a)에, Ni 피막, Au 피막 또는 Ni-Au 피막(하지가 Ni)을 갖는 Mo 또는 Ti제의 단자(14)를, 접합층(16)을 통해 접합시킨 것이다. 접합층(16)은, Au, Ge, Ag, Cu 및 Ti를 함유하고, 오목부(12a)의 측면의 적어도 일부(여기서는 전부) 및 저면과 접하고 있다. 이 접합층(16) 중 세라믹스 부재(12)와의 접합 계면에는 Ti가 풍부하게 존재하고 있다. 또한, 접합체(10)를 접합체(10)의 두께 방향으로 절단했을 때, 접합층(16)의 단면적에 차지하는 기공의 단면적의 합계의 비율(기공률)이 0.1%∼15%이다.
The purpose of the present invention is to sufficiently increase the strength of a bonded body of a metal member and a ceramic member joined together. The bonded body (10) includes a plate-shaped alumina or aluminum nitride ceramic member (12) and a Mo or Ti terminal (14) having a Ni coating, an Au coating, or a Ni-Au coating (Au on Ni) and joined to a recess (12a) in the ceramic member (12) with a joint layer (16) therebetween. The joint layer (16) contains Au, Ge, Ag, Cu, and Ti and is in contact with at least a part of the side surfaces (herein the entire side surfaces) and the bottom surface of the recess (12a). Ti is rich in the joint interface between the joint layer (16) and the ceramic member (12). The percentage (porosity) of the sum of the cross-sectional areas of pores to the cross-sectional area of the joint layer (16) in a cross-section taken across the thickness of the bonded body (10) is 0.1% to 15%.

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